扩散炉类型说明

扩散炉有垂直扩散炉（vertical）和水平扩散炉（horizontal）两种类型。

垂直扩散炉

垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面，更加有利于机械手传送硅片，片内工艺参数一致性更好。

水平扩散炉是石英舟平行于水平面，一台可以4个或4个以上的工艺炉管，平均炉管的占地面积更小，片间的工艺参数较垂直扩散炉更好。